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      超高真空與高真空系統(tǒng)的對(duì)比，超高真空主要用于研究表面，熱核反應(yīng)，高能加速器，半導(dǎo)體研究，空間模擬等科學(xué)領(lǐng)域，由于這些現(xiàn)代科學(xué)的發(fā)展需要，大大促進(jìn)了超高真空技術(shù)的發(fā)展。

 

 

      現(xiàn)代超高真空技術(shù)特點(diǎn)：

 

    

      1.真空裝置容量大，達(dá)到上千平方米，并且達(dá)到的真空度高；

 

    

      2.測(cè)試手段復(fù)雜，除了測(cè)試真空度外，還包括質(zhì)譜分析，低能電子衍射，電子譜等；

 

    

      3.材料選擇用不銹鋼代替玻璃，密封材料多半使用銅；

 

    

      4.用低溫泵，各種鈦泵代替油擴(kuò)散，用無油真空替代了有油真空；

 

      超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)有不少相同之處，主要有：管路的流導(dǎo)計(jì)算；殼體強(qiáng)度計(jì)算；主泵抽速計(jì)算及泵之間匹配選擇；真空元件的清潔處理及檢漏等。

 

      超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)也有許多不同之處：選擇真空泵的方法不同；對(duì)材料要求更為嚴(yán)格；密封結(jié)構(gòu)和密封材料不同；采用了烘烤措施；焊接結(jié)構(gòu)和方法不同；對(duì)漏率控制更為嚴(yán)格。