干式螺桿真空泵介紹
時(shí)間:2023-04-07 11:13
來(lái)源:德耐爾真空泵
作者:Denair
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真空泵在我們的日常生活和工作中是極為常見(jiàn)的。干式螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。我們今天介紹下我們的德耐爾干式螺桿真空泵。
工作原理
螺桿真空泵利用一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn),進(jìn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無(wú)摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪聲低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油。
①主動(dòng)轉(zhuǎn)子 ②從動(dòng)轉(zhuǎn)子 ③吸氣腔 ④運(yùn)送腔 ⑤排氣腔
性能優(yōu)勢(shì)
·節(jié)能:功耗比同類產(chǎn)品降低20%以上;
·可靠:干式結(jié)構(gòu)泵腔,機(jī)械變?nèi)輭嚎s,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝真空;
·環(huán)保:零污水排放,無(wú)環(huán)保壓力,節(jié)省污水處理費(fèi)用;
·增效:不污染溶劑,便于回收溶劑,增加效益;
·易維護(hù):無(wú)需做特別的維護(hù),基本無(wú)維修費(fèi)用,省事、省心;
·冷卻:水量比同類產(chǎn)品節(jié)約90%以上,且對(duì)冷卻溫度要求不苛刻;
·防腐:可選用鎳磷、哈氏合金等涂層或選配鈦合金等整體材質(zhì)。
等螺距真空泵
·國(guó)家專利(ZL 201921451548.2);
·粗抽效率高,可以穩(wěn)定運(yùn)行于粗真空工況,極大擴(kuò)展了工作壓力范圍;
·無(wú)內(nèi)壓縮,泵溫高,適宜抽速易凝結(jié)、易結(jié)晶的氣體;
·轉(zhuǎn)子間隙大,固體粉塵與冷凝液不易在轉(zhuǎn)子間和泵腔內(nèi)沉積。
變螺距真空泵
·國(guó)家專利(ZL 201921451576.4);
·氣體返流小,消耗功率低,更節(jié)能;
·排氣溫度以及工作溫度低,適宜抽除易燃易爆,易結(jié)焦的氣體;
·排氣反沖的氣體量少,從根本上降低了泵的運(yùn)行溫度和噪音。
選配件示意圖
1.氣動(dòng)蝶閥 2.螺桿真空泵 3.過(guò)濾器 4.氣液分離器 5.儲(chǔ)液筒 6.消音器 7.調(diào)壓表
·選配1 氮?dú)獯祾呓Y(jié)構(gòu)
·選配2 排氣消音結(jié)構(gòu)
·選配3 溶劑沖洗結(jié)構(gòu)
性能特點(diǎn)
1、潔凈真空
工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油,零污染;工藝氣體回收利用率高;尾氣處理方便,降低使用安全風(fēng)險(xiǎn)和運(yùn)行成本;
2、冷卻性能
采用夾套冷卻,使用少量冷卻循環(huán)水,即可穩(wěn)定的運(yùn)行;
3、使用工況
宜抽取可凝性、腐蝕性、易燃易爆、易結(jié)晶、易凝固等氣體,適用于各種惡劣的工況;
4、穩(wěn)定可靠
多級(jí)螺旋式轉(zhuǎn)子,取消中隔板結(jié)構(gòu),無(wú)中間級(jí)吸排氣過(guò)程,工作過(guò)程簡(jiǎn)單、連續(xù)、效率高;
5、易維護(hù)
轉(zhuǎn)子無(wú)接觸、無(wú)磨損,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,零件少,維護(hù)方便,整機(jī)壽命長(zhǎng);
6、適應(yīng)性強(qiáng)
進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作,可與羅茨泵、分子泵等組合,可作為前級(jí)泵使用,抽氣效率高。
應(yīng)用行業(yè)
1、化工2、制藥 3、鋰電池 4、冶金系統(tǒng)5、鍍膜 6、新能源 7、光伏 8、汽車9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半導(dǎo)體
螺桿真空泵利用一對(duì)螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn),進(jìn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無(wú)摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪聲低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油。
①主動(dòng)轉(zhuǎn)子 ②從動(dòng)轉(zhuǎn)子 ③吸氣腔 ④運(yùn)送腔 ⑤排氣腔
·節(jié)能:功耗比同類產(chǎn)品降低20%以上;
·可靠:干式結(jié)構(gòu)泵腔,機(jī)械變?nèi)輭嚎s,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝真空;
·環(huán)保:零污水排放,無(wú)環(huán)保壓力,節(jié)省污水處理費(fèi)用;
·增效:不污染溶劑,便于回收溶劑,增加效益;
·易維護(hù):無(wú)需做特別的維護(hù),基本無(wú)維修費(fèi)用,省事、省心;
·冷卻:水量比同類產(chǎn)品節(jié)約90%以上,且對(duì)冷卻溫度要求不苛刻;
·防腐:可選用鎳磷、哈氏合金等涂層或選配鈦合金等整體材質(zhì)。
·國(guó)家專利(ZL 201921451548.2);
·粗抽效率高,可以穩(wěn)定運(yùn)行于粗真空工況,極大擴(kuò)展了工作壓力范圍;
·無(wú)內(nèi)壓縮,泵溫高,適宜抽速易凝結(jié)、易結(jié)晶的氣體;
·轉(zhuǎn)子間隙大,固體粉塵與冷凝液不易在轉(zhuǎn)子間和泵腔內(nèi)沉積。
·國(guó)家專利(ZL 201921451576.4);
·氣體返流小,消耗功率低,更節(jié)能;
·排氣溫度以及工作溫度低,適宜抽除易燃易爆,易結(jié)焦的氣體;
·排氣反沖的氣體量少,從根本上降低了泵的運(yùn)行溫度和噪音。
1.氣動(dòng)蝶閥 2.螺桿真空泵 3.過(guò)濾器 4.氣液分離器 5.儲(chǔ)液筒 6.消音器 7.調(diào)壓表
·選配1 氮?dú)獯祾呓Y(jié)構(gòu)
·選配2 排氣消音結(jié)構(gòu)
·選配3 溶劑沖洗結(jié)構(gòu)
1、潔凈真空
工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油,零污染;工藝氣體回收利用率高;尾氣處理方便,降低使用安全風(fēng)險(xiǎn)和運(yùn)行成本;
2、冷卻性能
采用夾套冷卻,使用少量冷卻循環(huán)水,即可穩(wěn)定的運(yùn)行;
3、使用工況
宜抽取可凝性、腐蝕性、易燃易爆、易結(jié)晶、易凝固等氣體,適用于各種惡劣的工況;
4、穩(wěn)定可靠
多級(jí)螺旋式轉(zhuǎn)子,取消中隔板結(jié)構(gòu),無(wú)中間級(jí)吸排氣過(guò)程,工作過(guò)程簡(jiǎn)單、連續(xù)、效率高;
5、易維護(hù)
轉(zhuǎn)子無(wú)接觸、無(wú)磨損,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,零件少,維護(hù)方便,整機(jī)壽命長(zhǎng);
6、適應(yīng)性強(qiáng)
進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作,可與羅茨泵、分子泵等組合,可作為前級(jí)泵使用,抽氣效率高。
應(yīng)用行業(yè)
1、化工2、制藥 3、鋰電池 4、冶金系統(tǒng)5、鍍膜 6、新能源 7、光伏 8、汽車9、香料 10、航空航天 11、科研院所 12、半導(dǎo)體
德耐爾股份業(yè)務(wù)
產(chǎn)品涵蓋離心式壓縮機(jī)、噴油螺桿空壓機(jī)、無(wú)油空壓機(jī)、移
動(dòng)式空壓機(jī)、往復(fù)式壓縮機(jī)、工業(yè)真空泵、空氣源熱泵等七大工業(yè)氣體應(yīng)用領(lǐng)域
秉持高端·節(jié)能·直銷的產(chǎn)品與服務(wù)定位
集研發(fā)、制造、直銷與服務(wù)于一體
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