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關(guān)于德耐爾干式螺桿真空泵呢，特點(diǎn)在站內(nèi)的產(chǎn)品信息里面展現(xiàn)了，小德就不啰嗦那么多了。但是，干式螺桿真空泵的魅力可不止這些！話不多說，直接進(jìn)入主題！

干式螺桿真空泵規(guī)格涵蓋范圍：

單泵：抽速：80~800m³/hr

      工作壓力范圍：101325~10Pa

      極限壓力：1Pa

雙泵：抽速：300~4500m³/hr

      工作壓力范圍：101325~1.3*×10-1Pa

      極限壓力：0.1Pa

注：干式螺桿真空泵屬于中、高真空應(yīng)用

腔體冷卻特色及選用說明：

間接水冷配件

冷卻水套（間接冷卻）

●依製程需求不同可提供殼體直接/間接水冷方案。
●直接水冷適合達(dá)40℃高溫環(huán)境使用。
●間接水冷可控制腔體良好均溫性，可維持製程物在氣態(tài)。

馬達(dá)特色及選用說明

水冷馬達(dá)

氣冷馬達(dá)

氣冷馬達(dá)自循環(huán)冷卻

●水冷馬達(dá)低噪音，適合週遭粉塵多的環(huán)境使用，不會(huì)因馬達(dá)風(fēng)扇卡粉塵導(dǎo)致散熱不良。
●氣冷馬達(dá)標(biāo)配為臺灣電機(jī)大廠大同馬達(dá)，也可依客戶需求搭配指定品牌。
●無冷卻循環(huán)水客戶可選用氣冷馬達(dá)+自循環(huán)冷卻機(jī)型。

軸封特色及選用說明

轉(zhuǎn)子特色及選用說明：

第一代—DPS系列；圓棒材加工；舊設(shè)計(jì)；排氣反覆壓縮；高溫、耗功。

第二代—DPS系列；平衡孔少；降低回漏率；提高真空度；溫度、耗功降低。

第三代—DPS系列；變導(dǎo)程設(shè)計(jì)；低溫、低耗功。

在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，德耐爾推出干式真空泵高階機(jī)型。其特色有以下五點(diǎn)：

1、專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。

2、移動(dòng)式操作界面，方便操作；顯示真空泵實(shí)際工作狀況，并可選中、英兩種文字顯示，切實(shí)貼近客戶。

3、軍規(guī)電源接頭，安全方便。

4、氮?dú)饧訜崞髋c殼溫控制，使真空泵更適應(yīng)于CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程。

5、控制訊號及通訊信號界面，可對真空泵進(jìn)行遠(yuǎn)端監(jiān)控。

德耐爾真空泵，精加工技術(shù)，螺桿真空泵擁有核心主機(jī)制造技術(shù)，一流的檢測平臺為您提供高效穩(wěn)定、節(jié)能環(huán)保的真空泵產(chǎn)品，歡迎留言咨詢或撥打德耐爾全國免費(fèi)客服熱線：400-777-0802！